陶瓷为什么断裂（陶瓷靶材开裂的原因）

生产中使用的冷却水温度与镀膜线实际水温存在差异，导致使用过程中靶材开裂。一般来说，轻微的裂纹不会对镀膜生产产生很大的影响。但当靶材有明显裂纹时，电荷很容易集中在裂纹边缘，导致靶材表面异常放电。放电会导致落渣、成膜异常、产品报废增加。

裂纹形成通常发生在陶瓷溅射靶材（如氧化物、碳化物、氮化物等）和脆性材料溅射靶材（如铬、锑、铋等）中。

陶瓷靶材

陶瓷或脆性材料目标始终包含固有应力。这些内应力是在靶材制造过程中产生的。此外，这些应力不能通过退火过程完全消除，因为它是这些材料的固有特性。在溅射过程中，轰击的气体离子将其动量传递给目标原子，为它们提供足够的能量来脱离晶格。这种放热动量传递增加了目标的温度，在原子水平上可能达到1，000，000摄氏度。这些热冲击将靶材中已经存在的内部应力增加到许多倍。在这种情况下，如果不注意适当的散热，靶材可能会破裂。

为了防止靶材开裂，重要的考虑因素是散热。这需要水冷机制来去除靶材中不需要的热能。可以通过短时间内提高功率给靶材带来热冲击。此外，还可以将靶材粘合到背板上，这不仅为目标提供支撑，而且还促进靶材与水之间更好的热交换。如果靶材开裂但粘合到背板上，它仍然可以毫无问题地使用。

靶材的安装方式方法：

1. 清洁：将靶材和底座用酒精或丙酮等有机溶剂清洗干净，确保无尘、油污等。

2. 确定位置：确定靶材安装的位置和方向，将靶材与底座对准并固定好。

3. 紧固螺母：使用相应的工具将螺母拧紧，注意不要过紧，避免压碎靶材。